直流热阴极等离子体化学气相沉积
规范用词直流热阴极等离子体化学气相沉积
英文对照direct current hot cathode plasma chemical vapor deposition
名词定义采用高温热阴极以及在大的放电电流和高的气体气压下实现长时间稳定的辉光放电，制备大尺寸厚膜的方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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