规范用词离子辅助沉积
英文对照ion assisted deposition
名词定义在电子束蒸发或沉积的同时，用一定能量、种类、流强的离子束轰击正在生长的表面以提高薄膜质量的一种方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
