规范用词孪生靶磁控溅射
英文对照twin targets magnetron sputtering
名词定义将双向交变电压施加于磁控溅射两个相邻的靶上的磁控溅射。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
