规范用词电子束蒸发
英文对照electron beam evaporation
名词定义用电子束加热水冷铜坩埚中的蒸发材料使其熔融或升华气化。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
