活性反应蒸镀
规范用词活性反应蒸镀
英文对照activated reactive evaporation deposition
名词定义在离子镀膜过程中，向真空室导入反应气体，通过各种放电方式使蒸发离子与反应气体作用使其活化，加速它们之间的反应，在基底表面获得所需化学配比的化合物膜。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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