规范用词化学气相沉积
英文对照chemical vapor deposition;CVD
名词定义反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，形成薄膜或涂层的技术。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
