规范用词蒸镀
英文对照evaporation deposition
名词定义对镀膜材料加热使其气化沉积在基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺过程。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
