规范用词阴极沉积
英文对照cathodic deposition
名词定义真空室中只有阴极和阳极，阴极上装有被溅射材料，利用高电压下两极间气体自持放电的溅射沉积技术。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
