规范用词电弧蒸发
英文对照arc evaporation
名词定义将蒸发材料作为电极，在外加电压下，电极间依靠等离子体导电产生弧光放电，从而使电极材料被蒸发。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
