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材料科学技术材料科学技术基础材料合成、制备与加工薄膜制备技术

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离子束溅射

规范用词离子束溅射

英文对照ion beam sputtering

名词定义利用离子源产生一定能量的离子束轰击置于高真空中的靶材，使其原子溅射出来，沉积在基底成膜的过程。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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