规范用词电子轰击电弧放电蒸发
英文对照electron bombard
名词定义蒸发材料作为阳极，利用电子轰击阳极靶材，产生电弧等离子体，使靶材材料蒸发。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
