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材料科学技术材料科学技术基础材料合成、制备与加工薄膜制备技术

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热化学气相沉积

规范用词热化学气相沉积

英文对照thermal chemical vapor deposition

名词定义在800~2000℃的高温反应区,利用电阻加热,高频感应加热和辐射加热的化学气相沉积。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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