空心阴极离子镀
规范用词空心阴极离子镀
英文对照hollow cathode deposition
名词定义由空心阴极电子枪尾部通入工作气体，枪内热阴极弧光放电产生等离子体，经聚焦、偏转、再聚焦打到被蒸发材料上的离子镀技术。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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