微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积
规范用词微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积
英文对照electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition
名词定义将电场与磁场结合运用，使电场的频率与电子在磁场中的回旋的频率相匹配，即电子回旋共振方法产生等离子体的化学气相沉积方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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