射频等离子体增强化学气相沉积
规范用词射频等离子体增强化学气相沉积
英文对照radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition
名词定义反应是由平行电极之间的射频产生的等离子体所激活的化学气相沉积。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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