规范用词脉冲磁控溅射
英文对照pulsed magnetron sputtering
名词定义通过电极间施加双极性脉冲电压的磁控溅射，是绝缘材料磁控溅射沉积的优选技术。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
