规范用词金属有机源
英文对照metalorganic source
名词定义高纯金属有机化合物材料，是金属有机化学气相外延和沉积的原材料。要求具有合适的结构、合适的蒸气压、合适的分解温度和很高的纯度。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
