规范用词碳化物生成反应
英文对照carbide reaction
名词定义化学气相沉积碳化物薄膜的过程中利用卤化物和碳氢化物生成沉积物的化学反应。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
