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机械工程机械制造工艺与设备表面工程气相沉积

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反应离子镀

规范用词反应离子镀

英文对照reactive ion plating

名词定义引入化学反应的离子镀。

所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 表面工程 > 气相沉积

名词审定机械工程名词审定委员会

见载刊物《机械工程名词（第二分册）》 科学出版社

公布时间2003年

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