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物理气相沉积

规范用词物理气相沉积

英文对照physical vapor deposition

名词定义用物理方法(如蒸发、溅射等)，使镀膜材料汽化在基体表面，沉积成覆盖层的方法。

中文又称PVD法(PVD）

所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 表面工程 > 气相沉积

名词审定机械工程名词审定委员会

见载刊物《机械工程名词（第二分册）》科学出版社

公布时间2003年

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