规范用词化学气相沉积
英文对照chemical vapor deposition
名词定义用化学方法使气体在基体材料表面发生化学反应并形成覆盖层的方法。
中文又称CVD法(CVD）
所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 表面工程 > 气相沉积
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第二分册）》 科学出版社
公布时间2003年
