规范用词磁控溅射镀
英文对照magnetron sputtering
名词定义采用磁场束缚靶面附近电子运动的溅射镀。
所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 表面工程 > 气相沉积
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第二分册）》 科学出版社
公布时间2003年
