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离子散射谱仪

规范用词离子散射谱仪

英文对照ion-scattering spectrometer

名词定义能产生基本上是单能、单电荷、低能离子束，并能测定沿已知角从固体表面散射出来的探针离子能量分布的能谱仪。

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名词审定机械工程名词审定委员会

见载刊物《机械工程名词（第三分册）》科学出版社

公布时间2003年

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