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二次离子谱仪

规范用词二次离子谱仪

英文对照secondary ion spectrometer

名词定义适用于元素的表面分布、深度分布的微区分析的能谱仪。

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名词审定机械工程名词审定委员会

见载刊物《机械工程名词（第三分册）》科学出版社

公布时间2003年

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