低能电子衍射仪
规范用词低能电子衍射仪
英文对照low electron energy diffractometer
名词定义电子能量小于500eV电子束是单色的、近似平行的，直径为10-3～10-2m，通常垂直入射，利用集电极或半球形荧光屏来探测被弹性反向散射的电子形成的衍射图的电子衍射仪。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 分析仪器 > 能谱和射线分析仪器 > 能谱和射线分析仪器仪器和附件
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年
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