卢瑟福离子背散射谱法
规范用词卢瑟福离子背散射谱法
英文对照Rutherford ion backscattering spectrometry;RBS
名词定义测定大角度卢瑟福背散射离子的能谱，可对样品所含元素进行定性、定量和深度分布分析，以及薄膜厚度的测定。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料科学基础 > 材料的表征与测试
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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