离子散射分析
规范用词离子散射分析
英文对照ion scattering analysis
名词定义用低能(0.5~3keV)惰性气体离子束以一定角度入射到试样表面，经试样原子散射改变能量的一种。表面成分分析技术。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料科学基础 > 材料的表征与测试
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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