离子沟道背散射谱法
规范用词离子沟道背散射谱法
英文对照ion channeling backscattering spectrometry
名词定义卢瑟福背散射与离子沟道效应相结合，对单晶样品近表面层的结构或掺杂原子的占位进行分析的方法。用于研究晶体表面结构，测定晶格损伤，确定杂质原子在晶格中的位置等。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料科学基础 > 材料的表征与测试
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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