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电子学电子元器件工艺与分析技术

低压CVD low pressure chemical vapor deposition;LPCVD 低压CVD的意思 low pressure chemical vapor deposition;LPCVD的意思

低压CVD

规范用词低压CVD

英文对照low pressure chemical vapor deposition;LPCVD

所属学科电子学 > 电子元器件工艺与分析技术

名词审定电子学名词审定委员会

见载刊物电子学名词》 科学出版社

公布时间1993年

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