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二次离子谱法

规范用词二次离子谱法

英文对照secondary ion spectroscopy

名词定义对试样被激发射出的二次离子束进行质荷比的测量，分析试样表面元素分布和深度元素分布的能谱法。此法能分析所有元素和同位素。

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名词审定机械工程名词审定委员会

公布时间2003年

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