二次离子质谱法
规范用词二次离子质谱法
英文对照secondary ion mass spectrometry
名词定义用能量1～20keV的一次离子束轰击固体试样，溅射出二次离子，再进行质谱分析的方法，可以检测由氢到铀的所有元素，能够进行表面微区分析和纵深分析，测出化学组分和同位素组成。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 分析仪器 > 质谱仪器 > 质谱仪器测量原理
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年
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