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接触式干涉仪

规范用词接触式干涉仪

英文对照contact interferometer

名词定义应用干涉原理接触测量微差尺寸的长度计量仪器。

所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 光学仪器 > 光学计量仪器

名词审定机械工程名词审定委员会

见载刊物机械工程名词(第三分册)》 科学出版社

公布时间2003年

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