规范用词接触式干涉仪
英文对照contact interferometer
名词定义应用干涉原理接触测量微差尺寸的长度计量仪器。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 光学仪器 > 光学计量仪器
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词(第三分册)》 科学出版社
公布时间2003年