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机械工程机械制造工艺与设备机床附件

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静电吸盘

规范用词静电吸盘

英文对照electrostatic chuck

名词定义用静电荷产生的吸力吸紧工件的吸盘。

所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 机床附件

名词审定机械工程名词审定委员会

见载刊物机械工程名词(第二分册)》 科学出版社

公布时间2003年

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