规范用词静电吸盘
英文对照electrostatic chuck
名词定义用静电荷产生的吸力吸紧工件的吸盘。
所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 机床附件
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词(第二分册)》 科学出版社
公布时间2003年