规范用词气体分解法
英文对照decomposition of vapor phase
名词定义通过加热或其他方式使复杂成分的气体分子分解，释放出某种元素并沉积生长。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 晶体生长
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
