规范用词靶材
英文对照target
名词定义在溅射沉积技术中用做阴极的材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 晶体生长
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
