规范用词阴极溅射法
英文对照cathode sputtering
名词定义利用电离的正离子在电场的加速下撞击作为阴极的靶材，使其中的原子(或分子)脱离阴极而在阳极沉积的方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 晶体生长
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
