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离子刻蚀

规范用词离子刻蚀

英文对照ion etching

名词定义利用离子轰击作用，对材料表面进行刻蚀的过程。

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物《材料科学技术名词》科学出版社

公布时间2011年

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