规范用词激光气相沉积
英文对照laser vapor deposition
名词定义激光照射靶材或反应气体，使其气化为原子态，随后气态原子沉积到基材表面形成薄膜的工艺。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
