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等离子鞘离子注入 plasma sheath ion implantation;PSII 等离子鞘离子注入的意思

等离子鞘离子注入

规范用词等离子鞘离子注入

英文对照plasma sheath ion implantation;PSII

名词定义在等离子体中,加有负脉冲高电压的样品或工件表面形成等离子鞘层,对工件进行离子注入的过程。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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