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离子束掺杂

规范用词离子束掺杂

英文对照ion beam doping

名词定义把某种元素的离子，强制注入固体表面获得均匀的一种半导体掺杂方法。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物《材料科学技术名词》科学出版社

公布时间2011年

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