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电子学半导体物理与半导体材料

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原子层外延

规范用词原子层外延

英文对照atomic layer epitaxy;ALE

所属学科电子学 > 半导体物理与半导体材料

名词审定电子学名词审定委员会

见载刊物《电子学名词》 科学出版社

公布时间1993年

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