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直流溅射

规范用词直流溅射

英文对照direct current sputtering

名词审定电子学名词审定委员会

见载刊物《电子学名词》科学出版社

公布时间1993年

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多孔硅氧化隔离isolation by oxidized porous silicon;IOPS
硅化物silicide
二硅化物disilicide
硅栅silicon gate
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硅栅自对准工艺silicon gate self-aligned technology
钼栅工艺molybdenum gate technology
难熔金属硅化物refractory metal silicide
扩散diffusion
预扩散prediffusion
自扩散self-diffusion
外扩散outdiffusion
双扩散double diffusion
间隙扩散interstitial diffusion
替位扩散substitutional diffusion
选择扩散selective diffusion
掩蔽扩散masked diffusion
场助扩散field-aided diffusion
箱法扩散box diffusion
闭管真空扩散closed ampoule vacuum diffusion
液态源扩散liquid source diffusion
气态源扩散gas source diffusion
空位流vacancy flow

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