气相等离子辅助反应法
规范用词气相等离子辅助反应法
英文对照plasma assisted chemical vapor deposition
名词定义以等离子体为热源，通过气相反应，完成成核、长大和终止，并形成超细微粒的制备方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 粉体制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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