规范用词溅射清洗
英文对照sputtering cleaning
名词定义利用离子轰击溅射作用，对材料表面进行清洁处理的过程。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
