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公共查询科学技术名词表面改性和涂层技术
材料科学技术材料科学技术基础材料合成、制备与加工表面改性和涂层技术

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离子束辅助沉积

规范用词离子束辅助沉积

英文对照ion beam assisted deposition;IBAD

名词定义在气相沉积的同时，进行离子束轰击混合以改善薄膜性能的方法。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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