等离子体浸没离子注入
规范用词等离子体浸没离子注入
英文对照plasma immersion ion implantation
名词定义加有负脉冲高电压的样品或工件在等离子体中进行离子注入的过程。
中文又称全方位离子注入;等离子源离子注入(plasma source ion implantation)
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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