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物理学凝聚体物理学固体及其性质

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光刻[术]

规范用词光刻[术]

英文对照photolithography

所属学科物理学 > 凝聚体物理学 > 固体及其性质

名词审定物理学名词审定委员会

见载刊物物理学名词(第二版)》 科学出版社

公布时间1996年

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