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航天科学技术航天制造工艺

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溅射刻蚀

规范用词溅射刻蚀

英文对照sputtering etching

所属学科航天科学技术 > 航天制造工艺

名词审定航天科学技术名词审定委员会

见载刊物《航天科学技术名词》 科学出版社

公布时间2005年

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