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溅射沉积

规范用词溅射沉积

英文对照sputtering deposition

名词审定航天科学技术名词审定委员会

公布时间2005年

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航天制造工艺»

均匀化退火homogenizing annealing
扩散退火diffusion annealing
去应力退火stress relieving;stress relief annealing
回火tempering
高温回火high temperature tempering
正火normalizing
调质quenching and tempering
转化处理conversion treatment
粗化处理roughening
稳定化处理stabilizing treatment;stabilizing
时效[处理]aging
人工时效[处理]artificial aging
自然时效[处理]natural aging
天然稳定化处理seasoning
加荷时效load up ageing
深冷处理subzero treatment;cryogenic treatment
高低温循环处理high and low temperature cycling treatment
表面活性化结合surface activated bonding
表面处理surface treatment
表面清理surface cleaning
清洗cleaning
等离子清洗plasma cleaning
酸洗[acid] pickling;dipping
喷砂sand blasting
喷丸shot blasting;grit blasting
抛光polishing;buffing
电抛光electropolishing
精密去毛刺precision deburring
化学沉积chemical deposition
气相沉积vapor deposition
化学气相沉积chemical vapor deposition;CVD
低压化学气相沉积low-pressure chemical vapor deposition
高压化学气相沉积high pressure chemical vapor deposition
物理气相沉积physical vapor deposition;PVD
超高真空物理气相沉积ultra-high-vacuum physical vapor deposition
雾化喷射沉积spray atomization and deposition
蒸发沉积evaporating deposition
激光化学气相沉积laser chemical vapor deposition
激光物理气相沉积laser physical vapor deposition
脉冲激光沉积pulsed laser deposition

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